저번 시간에 증착장치의 구성과 Procsss Flow 대해서 알아보았습니다. 오늘은 증착장치의 트러블과 대책법에 대해 간단하게 살펴보고 저번 시간에 얘기했던 EB증발원에 대해서도 보충 설명 해보도록 하겠습니다. 장치의 보전에서 User가 자주 상담하는 항목으로 EB 증발원 사용 시 이상방전의 대책과 Hearth 교환이 있습니다 이상방전이 발생하면 전자 Beam 가열 증착원(EB 증착원 또는 EB Gun이라고 함 고전압을 인가할 수 없음, Emission이 안정되지 않음과 같은 현상이 생깁니다. 이 증상이 나타나는 원인은 전원 고장이 30% 정도이고, 대부분은 부하 측에 있으며, 증발원 주변 Cleaning으로 이상방전을 해소할 수 있습니다.
목차
● 전자 Beam 증발원에서 이상 방전 발생 시 주의, 확인 사항
● 증착장치의 Trouble과 대책법
1. 전자Beam 증발원에서 이상 방전 발생 시 주의, 확인 사항
(1) 주의사항
-실무에 충분히 숙달된 사람이 작업할 것
-안전 대책이 미흡한 경우 신체에 중대한 사고가 나기 때문에 충분히 주의하고 준비할 것
-여러 사람이 작업하는 경우 반드시 점호를 거행하고 항상 서로 주의를 확인할 것
-전극 등 고전압 부분에 접촉하게 될 경우는 반드시 전원 본체를 차단하고 거행할 것
(2) 확인수순
-전자 빔 전원의 공급 전원을 차단한다.
-진공탱크에 대기를 도입하고 대기압으로 한다.
-고전압 도입단자 등 고압 Lead선에 Earth봉을 사용하고 Change up 한 대전을 내보낸다.
-고전압 도입단자 대기압 측에서 고압 케이블을 뺀다.
-절연 Tester로 고전압 도입단자와 챔버 간 절연을 확인한다.
-진공탱크 안의 고압 리드선을 빼고 고전압 도입단자 Emitter Assembly 하나의 절연을 확인한다.
- 절연 불량이 있는 것은 교환 또는 클리닝 작업을 한다.
-절연불량이 없는 경우 (EB Gun Hearth Deck의 오염,또는 드물지만 EB Gun Emitter Assembly 부근의 혼입 증착물에 의한 방출 가스 또는 산화물로의 체인지 업이 이상방전의 원인이 된다)
-고압 리드선 표면의혼입 증착물로 동일하게 이상방전의 원인이 되기 때문에 증착물을 제거 또는 교환한다.
-클리닝 및 교환한 부채를 다시 맞춘다.
-조립 완료 후 진공 펌핑을 하고 EB Gun에 고전압 인가를 테스트한다.
-이상방전이 멈추지 않으면 전원의 원인일 수 있다.
-전원 측 주요 고장의 원인과 대응에는 고압 발생 회로의 고장, 고전압 제어용 진공관 열화에 의한 진공관 내부 방전 등이 있다. 또한 고압 회로 내 Condenser 등 고전압 기기의 정전흡착한 이물을 통한 방전이 있습니다.
2. 증착장치의 Trouble과 대책법
전자빔 가열식 증발원 및 전원이 관련된 트러블과 대책법은 대두분 정기적으로 보수하고 작업 조건을 지킨다면 미연에 방지할 수 있습니다. EB 증발원, 전원 및 그 외의 부재가 정상적인 상태임에도 다른 문의를 받는 경우도 종종 있습니다. 이들은 증발기술이나 증발 재료에 기인하는 것이 대부분입니다. 용융한 증착재료 표면에 산화막이 형성되면 지금까지의 Powee에서는 증발속도를 얻을 수 없습니다. 증발재료가 산화물이나 승화성 물질에서는 전자 Beam의 궤적에 따른 패임 현상이 발생, 증발원자의 지향성이 변화하여 막두께 분포 변화 등의 문제가 생깁니다.
트러블의 원인 조사를 위해 고전압을 체크할 때는 앞서 말한 바와 같이, 감전 방지를 위해 충분한 준비와 확인 및 작업자 주의가 필요합니다. 전원 본체 도입단자를 포함한 EB건에는 통상 안전 대책용 인터락이 설치되어 있습니다. 전압을 확 안 할 때 이와 같은 인터락을 해제하고 통전하면 안 되며 전원을 차단한 상태에서 테스트기 등의 측정기를 이용하고도 이상을 발견할 수 없는 경우에는 반드시 전원 Maker에 문의하여 지시를 따르도록 합니다
오늘은 증착장치의 트러블과 대책법에 대해 간단하게 살펴보고 저번 시간에 얘기했던 EB증발원에 대해서도 보충 설명 간략하게 해 보았습니다. 다음 시간에는 Sputtering장치에 대해 알아보도록 하겠습니다.