증착장치의 Trouble과 대책법1 증착장치의 트러블과 대책법 저번 시간에 증착장치의 구성과 Procsss Flow 대해서 알아보았습니다. 오늘은 증착장치의 트러블과 대책법에 대해 간단하게 살펴보고 저번 시간에 얘기했던 EB증발원에 대해서도 보충 설명 해보도록 하겠습니다. 장치의 보전에서 User가 자주 상담하는 항목으로 EB 증발원 사용 시 이상방전의 대책과 Hearth 교환이 있습니다 이상방전이 발생하면 전자 Beam 가열 증착원(EB 증착원 또는 EB Gun이라고 함 고전압을 인가할 수 없음, Emission이 안정되지 않음과 같은 현상이 생깁니다. 이 증상이 나타나는 원인은 전원 고장이 30% 정도이고, 대부분은 부하 측에 있으며, 증발원 주변 Cleaning으로 이상방전을 해소할 수 있습니다. 목차 ● 전자 Beam 증발원에서 이상 방전 발생 시 주의, 확.. 2023. 5. 3. 이전 1 다음