안녕하세요. 오늘은 진공장치의 분류에 대해 간단하게 살펴보겠습니다. 진공장치는 진공 펌프, 밸브, 배관 등으로 구성되는 배기 시스템에 목적에 맞춘 공간(진공 탱크) 내부 Jig, 반송기구, 성막 등의 처리기구와 계측기, 제어기기 등을 더해서 생산과 실험, 분석, 등을 할 수 있도록 한 것입니다. 진공 장치를 사용하여 가능한 기술과 제품을 생산 분야별로 분류하면 박막가공장치(전기, 전자) 표면처리장치(금속) 야금장치(금속, 연구개발) 건조, 보존, 분리(자동차, 연구개발) 분석 평가장치(연구개발) 검사장치 등으로 나뉩니다. 오늘은 반도체, 전자 산업으로 사용도가 높은 박막 가공용 장치와 철강, 자동차 업계에서 이용되고 있는 표면처리, 야금용 진공장치를 중심으로 보전에 대해서 간략하게 다뤄보도록 하겠으며 그전에 Batch 식 장치와 Load Lock 식 장치에 대해 알아보겠습니다.
목차
● Batch식 장치
● Load Lock식 장치
진공통의 구성을 기준으로 장치를 분류하면 Batch식 장치와 Load Lock 식 장치로 나눌 수 있습니다. Batch 식은 진공통이 하나인 진공장치라 생각하시면 됩니다, 일반적으로 구성이 단순하고 취급이 쉬운 점이 있지만 매번 진공통을 대기로 노출해야 하는 단점도 있습니다. Load Lock식은 두 개 이상의 진공탱크를 보유한 장치를 말합니다. 일정의 진공탱크를 상시 진공상태로 계속 유지하여 질 좋은 제품과 실험이 가능합니다.
Load Lock식에서 대표적인 방식은 In-Line 식과 매엽식이 있습니다. In-Line 식과 Load실, 전처리실, 처리실, 후처리실, Unload실 등의 진공통이 연속으로 존재하고 이것들의 진공탱크를 처리물이 통과해 가는 과정으로 목적을 처리하는 방식입니다.
매엽식은 Core실(반송실과 중계실이라고도 함)을 중심으로 주위의 복수의 진공탱크를 배치하고 이것들의 진공통과 Core실 간 처리물의 이동을 거행하고 목적을 처리하는 방법입니다. 매엽식에서는 처리할 진공통의 선택과 처리 순서의 교체가 가능하지만, In-Line 식에서는 처리 순서를 교체할 수 없습니다.
그럼 간단하게 Batch식 장치와 Load Lock 식 장치의 비교 장단점에 대해 하기와 같이 알아보겠습니다.
(1) Batch식 장치
◎ 장점
1.장치구성이 단순하고 부품 수가 적습니다.
2. 보존이 용이합니다.
3. 여러 대수를 보유하여 Down Time의 위험 분산이 가능합니다.
4. 보전 비용이 저렴합니다.
◎ 단점
1. 일반적으로 생산량이 적습니다.
2. 일반적으로 제조된 제품의 품질이 낮습니다.
3. 매번 Vent를 해야 합니다.
4. 성막 압력까지 배기시간이 매번 필요합니다.
5. 대기압으로 함에 따라 수분 등의 흡착이 생깁니다.
(2) Load Lock 식 장치
◎ 장점
1. 매회 대기압까지 돌릴 필요가 없습니다.
2. 연속 처리가 가능합니다.
3. 다량 생산이 가능합니다.
4. 진공의 질 양호, 좋은 제품이 가능합니다.
5. 방착판 등 부착막의 박리가 적습니다.
◎ 단점
1. 기기가 많고 시스템이 복잡합니다.
2. 보전 대상이 많고 보전이 어렵습니다.
3. Trouble에 의한 Down Time의 위험이 큽니다.
4. 장치의 초기 Cost가 비쌉니다.
진공통의 구성을 기준으로 장치를 분류하여 Batch식 장치와 Load Lock 식 장치의 비교 및 장단점에 대해서 간단하게
살펴봤습니다. 다음 시간에는 박막가공 장치에 대해 다뤄보고 물리적 방법인 PVD(Physical Vaper Deposition)와 화학적 방법인 (Chemical Vaper Deposition)에 대해 간단하게 알아보도록 하겠습니다.