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Sputtering 장치 안녕하세요 오늘은 Sputtering장치랑 무엇인지에 대해 알아보도록 하겠습니다. Sputtering장치는 현재도 수많은 분야에서 다양한 형태로 사용되고 있으며 앞으로도 계속적으로 수요가 늘 아날 전망입니다. Sputtering장치의 뜻과 분류에 관해서 간단하게 살펴보겠습니다. 목차 ●Sputtering 이란? ●Sputtering 법의 분류 1.Sputtering 이란? 양이온을 가속해서 음극 표면에 충돌시켜 음극 표면의 원자를 튀어나오게 하는 것을 Sputter라고 합니다. 이현상을 이용하여 박막을 형성하는 방법을 Sputtering이라고 흔히 부르고 있습니다. 진공장치 내에 양극과 음극을 준비, Sputte하려면 재료를 음극성에 붙입니다. 거기에 방전용 가스(대부분 아르곤 가스 Ar를 사용)를 일정.. 2023. 5. 7.
증착장치의 트러블과 대책법 저번 시간에 증착장치의 구성과 Procsss Flow 대해서 알아보았습니다. 오늘은 증착장치의 트러블과 대책법에 대해 간단하게 살펴보고 저번 시간에 얘기했던 EB증발원에 대해서도 보충 설명 해보도록 하겠습니다. 장치의 보전에서 User가 자주 상담하는 항목으로 EB 증발원 사용 시 이상방전의 대책과 Hearth 교환이 있습니다 이상방전이 발생하면 전자 Beam 가열 증착원(EB 증착원 또는 EB Gun이라고 함 고전압을 인가할 수 없음, Emission이 안정되지 않음과 같은 현상이 생깁니다. 이 증상이 나타나는 원인은 전원 고장이 30% 정도이고, 대부분은 부하 측에 있으며, 증발원 주변 Cleaning으로 이상방전을 해소할 수 있습니다. 목차 ● 전자 Beam 증발원에서 이상 방전 발생 시 주의, 확.. 2023. 5. 3.
진공증착장치 안녕하세요 저번 시간에는 진공장치의 분류 그중에서도 Batch 식 장치와 Load Lock시 장치에 대해 알아봤습니다. 오늘은 진공증착장치에 대해 살펴보겠습니다. 금속과 화합물 등의 재료를 고진공 안에서 가열 증착시켜 대상 하는 기판상에 부착해서 박막을 형성하는 방법을 진공증착이라고 합니다. 가열 증착시키는 방법에는 저항 가열, 전자 Beam 가열 및 고주파 유도가열 등이 있습니다. 이들을 반응 Gas 분위기 내에서 거행하는 반응 증착, 중착물을 이온화해서 성막 하는 Ion Plating 및 초고진공 안의 여러 증착원(Cell)에서 분자선을 발생시켜 성막을 거행하는 분자선 Epitaxy(MBE 법) 등도 진공증착에 포함됩니다. 또한 진공증착은 증착시키는 재료에 따라 증발원을 선택해야 합니다. 예를 들어 .. 2023. 4. 30.
진공장치의 분류 안녕하세요. 오늘은 진공장치의 분류에 대해 간단하게 살펴보겠습니다. 진공장치는 진공 펌프, 밸브, 배관 등으로 구성되는 배기 시스템에 목적에 맞춘 공간(진공 탱크) 내부 Jig, 반송기구, 성막 등의 처리기구와 계측기, 제어기기 등을 더해서 생산과 실험, 분석, 등을 할 수 있도록 한 것입니다. 진공 장치를 사용하여 가능한 기술과 제품을 생산 분야별로 분류하면 박막가공장치(전기, 전자) 표면처리장치(금속) 야금장치(금속, 연구개발) 건조, 보존, 분리(자동차, 연구개발) 분석 평가장치(연구개발) 검사장치 등으로 나뉩니다. 오늘은 반도체, 전자 산업으로 사용도가 높은 박막 가공용 장치와 철강, 자동차 업계에서 이용되고 있는 표면처리, 야금용 진공장치를 중심으로 보전에 대해서 간략하게 다뤄보도록 하겠으며 그.. 2023. 4. 27.

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