확산펌프1 확산 PUMP 안녕하세요. 지난 글에 저진공 영역대의 Oil Rotary Pump와 Dry Pump에 대해 알아봤습니다. 이번에는 고진공 영역대에 속하는 펌프에 대해서 글을 써볼까 합니다. 고진공 영역대의 펌프에는 확산펌프, 터보분자분자, 크라이오펌프 등이 대표적이며 그 밖에도 연구소등에서 많이 쓰이는 이온펌프도 있습니다, 그중에 오늘은 확산펌프에 대한 전반적인 사항을 알아보도록 하겠습니다. 목차 ●확산펌프 장단점 ●확산펌프의 개요 ●확산펌프 트러블 및 주의사항 확산펌프 장단점 확산 PUMP는 작동액 증기 분사를 이용해 기체에 운동량을 주고 흡기구 측에 수송하여 배기한는 펌프입니다. 작동액(보통유를 사용) 증기의 일부는 고진공 측에 역류하므로 반응실이 더러워지기 쉽다는 Image가 강합니다. 그러나 펌프 본체의 구조,.. 2023. 4. 3. 이전 1 다음