진공증착장치1 진공증착장치 안녕하세요 저번 시간에는 진공장치의 분류 그중에서도 Batch 식 장치와 Load Lock시 장치에 대해 알아봤습니다. 오늘은 진공증착장치에 대해 살펴보겠습니다. 금속과 화합물 등의 재료를 고진공 안에서 가열 증착시켜 대상 하는 기판상에 부착해서 박막을 형성하는 방법을 진공증착이라고 합니다. 가열 증착시키는 방법에는 저항 가열, 전자 Beam 가열 및 고주파 유도가열 등이 있습니다. 이들을 반응 Gas 분위기 내에서 거행하는 반응 증착, 중착물을 이온화해서 성막 하는 Ion Plating 및 초고진공 안의 여러 증착원(Cell)에서 분자선을 발생시켜 성막을 거행하는 분자선 Epitaxy(MBE 법) 등도 진공증착에 포함됩니다. 또한 진공증착은 증착시키는 재료에 따라 증발원을 선택해야 합니다. 예를 들어 .. 2023. 4. 30. 이전 1 다음