Cryo Pump의 Trouble1 Cryo Pump의 Trouble 및 보전사항 저번 글에서는 크라이오 펌프의 사용상 주의사항 도달압력, 열부하, 최대유량에 대해 알아보았으며 또한 크라이오 펌프에 있어서 중요한 리젠(재생)에 대해서도 살펴봤습니다. 이번에는 크라이오 펌프 트러블 대책 및 보전사항에 대해 살펴보도록 하겠습니다. 목차 ●Cryo Pump의 Trouble 대책 ●Cryo Pump의 보전사항 Cryo Pump의 Trouble 대책 크라이오 펌프는 신뢰성이 높고 장기간 연속 운전이 가능하도록 설계, 제작이 되어있습니다. 그러나 펌프는 기계이기 때문에 사용하다 보면 트러블이 발생하는 경우도 있으며 간단한 고장에 대해서는 고장 진단과 대책, 응급조치를 알고 있는 것이 필요합니다. 크라이오를 사용한 진공 배기계에서 문제가 일어나면 그 징후로 진공조의 압력이 상승합니다. 이 압력 상.. 2023. 4. 6. 이전 1 다음