터보펌프1 분자 Pump 이번에는 진공펌프 중 분자펌프에 대해서 알아보겠습니다. 분자 펌프의 제조와 원리에 대해 간단하게 설명드리고 분자 펌프의 특징까지 살펴보겠습니다. 목차 ● 분자 펌프의 제조와 원리 ● 분자 펌프의 특징 분자 펌프의 제조와 원리 분자 펌프는 작동유로 기름을 사용하지 않아 취급이 간단하고 용이하게 고진공을 얻을 수 있는 펌프이다. 다량의 Gas, 반응성이 풍부한 가스를 배기할 수 있는 펌프로서 반도체 소자나 전자부품 제조에 사용되는 진공장치의 주 펌프용으로 쓰이고 있습니다. 분자 펌프는 기계적 펌프의 한 종류입니다. 초고속으로 회전하는 Rotor에 의해 그 표면에 충돌한 기체 분자에 운동량을 부가하여 기체 분자를 수송하는 진공펌프입니다. 펌프 내부는 경사지게 붙은 Turbine 형상의 동익을 축 방향에 다단으.. 2023. 4. 7. 이전 1 다음