He Leak Detector1 He Leak Detector 안녕하세요 오늘은 헬륨리크 디텍터에 대해서 알아보겠습니다. 진공 챔버 내 원하는 진공도가 측정이 안될 경우에는 여러 가지 사항들을 의심해 볼 필요가 있습니다. 진공 펌프 및 진공도를 측정하는 게이지의 불량도 있을 수 있으나 가장 큰 원인 중에 하나가 바로 균열, 틈(Leak)에 의한 문제가 큽니다, 이때 헬륨을 이용해 챔버나 펌프 측의 리크를 찾아내는 역할을 하는 게 헬륨리크 디텍터이며 진공을 사용한다면 거의 모든 분야에서 지금도 많이 이용되고 있습니다. 목차 ● 헬륨리크디텍터 구조와 원리 ● 사용상 주의점 1.헬륨리크디텍터 구조와 원리 헬륨리크디텍터는 특정 가스의 질량수를 맞추어서 해당 가스 Probe로 사용하는 질량분석계의 한 종류입니다. 구성은 잔류 가스 중에서 헬륨의 양만을 검출하는 질량 분석관,.. 2023. 4. 24. 이전 1 다음