진공장치의 분류
안녕하세요. 오늘은 진공장치의 분류에 대해 간단하게 살펴보겠습니다. 진공장치는 진공 펌프, 밸브, 배관 등으로 구성되는 배기 시스템에 목적에 맞춘 공간(진공 탱크) 내부 Jig, 반송기구, 성막 등의 처리기구와 계측기, 제어기기 등을 더해서 생산과 실험, 분석, 등을 할 수 있도록 한 것입니다. 진공 장치를 사용하여 가능한 기술과 제품을 생산 분야별로 분류하면 박막가공장치(전기, 전자) 표면처리장치(금속) 야금장치(금속, 연구개발) 건조, 보존, 분리(자동차, 연구개발) 분석 평가장치(연구개발) 검사장치 등으로 나뉩니다. 오늘은 반도체, 전자 산업으로 사용도가 높은 박막 가공용 장치와 철강, 자동차 업계에서 이용되고 있는 표면처리, 야금용 진공장치를 중심으로 보전에 대해서 간략하게 다뤄보도록 하겠으며 그..
2023. 4. 27.