크라이오펌프1 크라이오 펌프 사용상 주의 지난번 글에 크라이오 펌프에 대한 기본 원리와 작동, 종류 등에 대해서 언급해 보았습니다. 이번에는 크라이오 사용함에 있어 주의해야 할 요소들과 트러블에 대한 대책 보전사항 등에 대해 글을 써보도록 하겠습니다. 목차 ●크라이오 펌프 사용상 주의 크라이오 펌프 사용상 주의 (1) 교차압력(Cross Over Pressure) 교차압력이란 진공조를 초기 배기시킨 후 Main Valve를 열아 크라이오 펌프로 전환할 때 진공조의 압력(초기 배기압력)을 나타낸다. 펌프에 허용되는 최대 Roughing 압력을 최대허용교차 압력이라고 한다. Main Valve를 여는 순간 진공조의 기체는 크라이오 펌프에 유입되어 배기되지만 기체의 양이 한계를 넘으면 크라이오 펌프의 배기 능력이 낮아지고 온도가 상승하여 그때까지 배.. 2023. 4. 5. 이전 1 다음