CRYO PUMP1 CRYO PUMP 안녕하세요, 지난번 글에서는 고진공 펌프 영역대의 확산 펌프에 대해 알아봤습니다. 오늘은 고진공 펌프 중에 최근 가장 많이 사용되고 있는 크라이오 펌프에 대해 알아보겠습니다. 우선 크라이오 펌프가 무엇이고 구성과 작동원리부터 글을 써 내려가겠습니다. 목차 ●크라이오 펌프란? ●작동원리와 구조 크라이오 펌프란? 크라이오 펌프는 진공 용기 내부에 극저온면을 설치하여 이곳에 용기 안의 기체 분자를 응축 또는 흡착시켜 포착해 배기하는 펌프입니다. 기체를 효과 있게 배기시키기 위해서 응축의 경우에는 증기압이, 흡착의 경우에는 흡착평형압력이 10^(-8) PA 이하가 되어야 합니다. 각종 기체에는 증기압이 있는데 질소(N2) 보다 증기압이 낮은 기체는 극저온면(크라이오 면 또는 Cryo Panel)이 20K 이하로.. 2023. 4. 4. 이전 1 다음