저번 글에서는 크라이오 펌프의 사용상 주의사항 도달압력, 열부하, 최대유량에 대해 알아보았으며 또한 크라이오 펌프에 있어서 중요한 리젠(재생)에 대해서도 살펴봤습니다. 이번에는 크라이오 펌프 트러블 대책 및 보전사항에 대해 살펴보도록 하겠습니다.
목차
●Cryo Pump의 Trouble 대책
●Cryo Pump의 보전사항
Cryo Pump의 Trouble 대책
크라이오 펌프는 신뢰성이 높고 장기간 연속 운전이 가능하도록 설계, 제작이 되어있습니다. 그러나 펌프는 기계이기 때문에 사용하다 보면 트러블이 발생하는 경우도 있으며 간단한 고장에 대해서는 고장 진단과 대책, 응급조치를 알고 있는 것이 필요합니다. 크라이오를 사용한 진공 배기계에서 문제가 일어나면 그 징후로 진공조의 압력이 상승합니다. 이 압력 상승이 진공 측정계의 문제가 아닌 경우 (1) 크라이오 펌프 이외 진공계에서의 누설 또는 방출 GAS (2) 크라이오 펌프를 장기간 사용함에 따른 성능 저하 등에 의한 경우가 많습니다.
만약 진공계에 이상이 없다면 크라이오 펌프에 원인이 있을 가능성이 크며 몇 가지 하기와 같이 예를 들어보겠습니다.
-크라이오 펌프 이상음, 이상진동 발생 시 원인 및 대책
(1) 전기적 고장(전기 부품의 Check, 배선 확인, 이상 발생부 수리, Switch류의 설정 위치 확인 및 설정 수정)
(2) He Gas의 순도저하(불순물제거, He치환)
(3) 압축기 기름오염(냉동기 Overhaul, Flexible Hose 세정, Adsorber 교환 및 He 치환작업)
(4) 기계적 고장(Bearing고장, Displacer 저항 증대, 기타 부품 이상 시 부품 교환 및 Overhaul)
-압축기를 기동해도 단시간에 정지하는 경우 원인 및 대책
(1) 온도 보호 Switch 작동(Oil 순환 불량, 냉각수 부족시 냉각수 온도 및 유량 조정)
(2) 과전류 보호 Switch 작동(수온이 너무 낮음, 저전압, 압축기 펌프 고장 시 냉각수 온도 조정 및 전압 적정화 체크
(3) 압력 Switch 작동(He 압력 과충전, 압력 부족의 경우 압력 조정 및 He충전
Cryo Pump의 보전사항
크라이오 펌프 보전은 정기적인 것과 비정기적인 것, 일상적인 것으로 나뉘어 있습니다. 보전 작업은 청정도가 관리되는 공간에서 실시해야 합니다.
(1) 정기적 보전
크라이오의 정기적 보전은 압축기 Unit의 Adsorber 교환, 냉동기 Seal류 교환, Bearing교환 등이 있습니다.
(2) 비정기적 보전
사용 상황에 따라 펌프 내부가 오염되어 정상적인 성능을 발휘할 수 없는 경우가 있습니다 이 경우 Cleaning 하거나 부품을 교환해서 오염을 제거해야 합니다. 또한 크라이오 펌프 시스템의 He 압력이 저하되었을 경우에는 He Gas의 충전이 핑요하나 Leak 가 많으면 수리하는 편이 좋습니다. 크라이오 펌프 흡착제에는 상당히 많은 세공(가는 구멍) 이 있어 그 안으로 수소가스를 흡착합니다. 이 세공 속에 오일이나 미분체가 가득 찼을 경우 수소의 흡착을 저해해 흡착능력이 저하됩니다. 따라서 심한 오염으로 성능이 저하되면 재생이 불가능하므로 교환해야 합니다, 아울러 부식성 환경에서 사용해 내부가 부식되거나 흑화면이 박리되었을 경우에는 80K Shield 15K Cryo Panel을 교환해야 합니다.
(3) 크라이오 펌프의 일상 점검 항목
크라이오 펌프를 사용하는 경우는 일상 점검이 필요합니다. 특히 한 대의 장치에 여러 대의 크라이오 펌프를 사용하는 경우 그중 한 대라도 정지되면 장치 전체가 정지되므로 매우 중요합니다, 또 점검일자를 써서 매일 테이터를 기록해 두면 고장이나 이상을 빨리 발견해 장치가 정지되는 중대 사고를 막을 수 있습니다.
Cryo Pump의 Trouble 대책 및 보전사항에 대해 알아보았습니다. 크라이오 펌프를 문제없이 오랜 기간 사용하기 위해서는 트러블 발생 요인과 대책 요령등을 미리 숙지하는 걸 추천드립니다, 아울러 보전사항에 있는 내용처럼 일상 점검 등을 자주
실시하여 사전에 문제의 소지를 미리 방지하시는 게 좋습니다.