Getter Pump 의 배기 능력1 Getter Pump 안녕하세요. 오늘은 화학적으로 활성된 고체 표면에 기체 분자가 흡착되는 Getter 작용을 이용한 저장식 진공 펌프인 Getter Pump에 대해 살펴보겠습니다. 연속 또는 간헐적으로 활성면을 만들어서 배기 작업을 행하는 증발식 Getter Pump(Sublimation Pump 또는 Titan Grtter Pump라고 불립니다)와 적정 온도로 가열된 활성 금속조 내의 확산에 의해 표면에 새로운 활성면을 유지하도록 한 비증발식 Getter Pump(Valve Getter Pump)가 있습니다. 고진공,초고진공 영역에 사용 가능한 Getter 재료에는 하기와 같습니다. - 잔류 가스에 대하여 화학적으로 활성화되어 발생한 화합물이 화학적으로 안정하고 증기압이 낮아야 합니다. - Getter재료의 증발에 따라.. 2023. 4. 13. 이전 1 다음